硅片甩干機(jī)是目前半導(dǎo)體行業(yè)中對(duì)硅圓片、掩模板、太陽能電池等其他類似材料要求高潔凈度沖洗甩干的主要設(shè)備。由于設(shè)備對(duì)控制系統(tǒng)的可靠性及實(shí)時(shí)性要求較高，所以在選擇主控制器時(shí)，考慮到用戶的要求及實(shí)際應(yīng)用，我們選擇了s7-200系列中的cpu224作為主控制器。
硅片甩干機(jī)采用的主控制器cpu224，繼電器輸出。工作電壓為交流220v，其具有14個(gè)輸入點(diǎn)和10個(gè)輸出點(diǎn)，此外還選用了一個(gè)8點(diǎn)輸出的數(shù)字量擴(kuò)展模塊，和一個(gè)4點(diǎn)輸入/1點(diǎn)輸出的模擬量擴(kuò)展模塊。除了基本的輸入/輸出信號(hào)外，由于設(shè)備在運(yùn)行過程中要求實(shí)時(shí)采集轉(zhuǎn)速信號(hào)，在這里我們使用了cpu224的內(nèi)部高速計(jì)數(shù)器功能。另外，本設(shè)備選用了新型直流無刷電機(jī)及相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)模塊，對(duì)電機(jī)轉(zhuǎn)速的控制是通過的模擬量輸出單元實(shí)現(xiàn)的。并且，通過模擬量擴(kuò)展模塊的輸入單元和相應(yīng)的軟件處理也可以實(shí)現(xiàn)對(duì)去離子電阻率的實(shí)時(shí)監(jiān)控。
cpu224內(nèi)部的用戶程序存儲(chǔ)器為8k字節(jié)，用戶數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器為5k字節(jié)，用戶存儲(chǔ)器類型為EEP-ROM。33MHz下布爾指令執(zhí)行速度為0.37us。內(nèi)部有繼電器、定時(shí)器、計(jì)數(shù)器、順序控制繼電器、For、Next整數(shù)運(yùn)算及實(shí)數(shù)運(yùn)算等功能模塊。附加功能有內(nèi)置高速計(jì)數(shù)器、模擬量調(diào)節(jié)電位器、脈沖輸出、通訊中斷、定時(shí)中斷、硬件輸入中斷、實(shí)時(shí)時(shí)鐘及口令保護(hù)。
硅片甩干機(jī)在用戶軟件上充分地體現(xiàn)了以人為本的特點(diǎn)，為了提高可視性采用了彩色液晶顯示器，更好的實(shí)現(xiàn)人機(jī)對(duì)話。而且為便于用戶操作在工藝菜單設(shè)計(jì)上采用了較為先進(jìn)的處理方式，可存儲(chǔ)10種用戶工藝菜單，每種菜單均可根據(jù)用戶工藝進(jìn)行修改設(shè)置。并可根據(jù)用戶需要設(shè)置密碼加密。
