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                濕法腐蝕清洗系統

                更新時間:2021-06-10
                瀏覽次數:2118
                產品型號:
                產品地址:濟寧市
                產品描述:濕法腐蝕清洗系統廣泛應用于Ic、MEMS、LED、PV、電力電子、半導體材料等行業
                標準配置:高純進口板材
                詳情介紹

                主要特點:

                成熟的模塊化工藝組合

                可面向用戶工藝需要,定制化設計

                已應用于20nm級別IC工藝線

                針對LED生產線,提高整體解決方案

                全自動清洗/手動清洗可選

                整機防漏液設計

                廣泛應用于Ic、MEMS、LED、PV、電力電子、半導體材料等行業

                標準配置:

                高純進口板材

                高結晶工藝管道

                高潔凈氣動閥門

                防腐機械手

                伺服電機驅動

                人機對話界面,觸摸屏操作

                標準工藝模塊

                SC-I溶液腐蝕槽

                SC-II溶液腐蝕槽

                SC-III溶液腐蝕槽

                QDR槽

                循環清洗槽

                超聲/兆聲清洗槽

                可選模塊:

                鼓氮

                水溶超聲/水浴兆聲槽

                槽內加熱/制冷循環

                漏液檢測

                水阻檢測

                自動供液系統

                自動配液系統

                自動滅火系統(有機清洗)

                ESD功能(有機清洗)

                MES接口(可選)

                留言框

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