全自動(dòng)硅片甩干機(jī)是一種專門用于半導(dǎo)體制造過程中的高精密設(shè)備，主要用于清洗和干燥硅片。這種設(shè)備通過自動(dòng)化的流程，能夠高效地去除硅片表面的水分和其他殘留物，確保硅片的清潔度和干燥度，從而滿足后續(xù)工藝的要求。

主要特點(diǎn)：

彩色液晶觸摸屏實(shí)時(shí)監(jiān)控，可存儲多種工藝菜單

腔體和轉(zhuǎn)架采用316不銹鋼，電化學(xué)拋光處理

去離子水電阻率監(jiān)控功能

無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)

氮?dú)鉁囟瓤刂?/p>

轉(zhuǎn)軸氮?dú)饷芊?/p>

具有鎖蓋防護(hù)功能

故障診斷、顯示、報(bào)警功能

可提用戶特殊要求配置

采用高潔凈度的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干功能，能夠適應(yīng)不同直徑和形狀的片式材料的清洗需求

設(shè)備設(shè)計(jì)可以適應(yīng)不同直徑的硅片，包括方形和其他特殊形狀的材料。

采用全自動(dòng)控制，包括去離子水沖洗和加熱的氮?dú)飧稍铮瑢?shí)現(xiàn)晶片襯底后的濕化學(xué)方法的自動(dòng)化處理

設(shè)備具備多項(xiàng)技術(shù)性能指標(biāo)，如電源電壓、頻率、功率、絕緣電阻等，確保操作的安全性和穩(wěn)定性

包括使用氮?dú)夂腿ルx子水的相關(guān)安全性技術(shù)要求，如壓力、耗量、接口管徑和過濾精度等

部分設(shè)備采用PLC和觸摸屏控制，實(shí)現(xiàn)整個(gè)過程的智能化，具有故障實(shí)時(shí)顯示和報(bào)警功能

設(shè)備設(shè)計(jì)考慮了節(jié)能和效率，例如，整個(gè)甩干過程一般只需5-6分鐘

主要部件采用耐腐蝕不銹鋼，并進(jìn)行電化學(xué)拋光處理，以提高設(shè)備的耐用性和清潔度

旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)經(jīng)過精密動(dòng)平衡處理，保證工作時(shí)的平衡性，并采用特種減振器以實(shí)現(xiàn)精密減振和阻尼

設(shè)備支持多種硅片規(guī)格、不同尺寸的掩模，滿足不同應(yīng)用需求。